За такого способу напилення матеріал покриття (дріт) переводиться в рідку фазу нагріванням струмами ВЧ. Розплав розпиляється струменем стисненого повітря.
Металізатор ВЧ має розпилювальну головку. Живлення індуктора апарата здійснюється від лампової ВЧ установки відносно невеликої потужності, наприклад. ВЧИ-4-10\0.44 або ВЧИ-25\0.44 (потужність відповідно 10 і 25 кВ. робоча частота 440 кГц).
Фізико-механічні властивості покриттів, нанесених ВЧ напиленням, значно вищі аналогічних властивостей покриттів, одержаних електродуговим напиленням, що пояснюється сприятливішими умовами плавлення матеріалу покриття (дроту). Коливання розмірів розпилюваних частинок і їх температура до перерізу конуса розпилу змінюється у вужчих межах, ніж тоді, коли застосовують електродугову металізацію. Тому вигоряння основних хімічних елементів зменшується у 4-6 разів, насиченість покриття оксидами - у 2-3 рази.
Менше окислення частинок покриття поліпшує умови змочування частинками відновлюваємої поверхні деталі. Тому за даного способу напилення міцність зчеплення частинок між собою і підкладкою підвищується. Крім того, конструкції апаратів для ВЧ напилення забезпечують розпилення металевих частинок у формі правильного конуса з малим кутом при вершині, що у підсумку забезпечує зменшення неефективних втрат матеріалу покриття (дроту).
До основних недоліків треба віднести порівняно невисоку продуктивність процесу, складність і високу вартість ВЧ лампових установок, які необхідно використовувати для живлення індуктора металізатора.