Принцип дії в’язкісних манометрів заснований на залежності в’язкості розрідженого газу, яка визначається рухом в ній твердого тіла, від вимірюваного тиску. Найбільше застосування такі манометри знайшли в лабораторній практиці для вимірювання тисків від 0,1 Па до 10-5 Па абсолютного тиску.
Рисунок 2.40 – Тепловий термопарний манометр
За конструкцією в’язкісні вакуумметри можна розділити на демпферні і дискові. У демпферних вакуумметрах вимірюваний тиск визначають за декрементом затухання коливань пластинки, пружно підвішеної у балоні, який сполучений з вимірюваним середовищем. В дискових вакуумметрах диск, що обертається з великою швидкістю, передає через газ обертовий момент іншому диску, який підвішений на тонкій нитці. За кутом повороту цього диску визначається вимірюваний тиск.
У візкозиметричному вакуумметрі контрольований тиск визначається по декременту затухання кварцової нитки. У візкозиметричному манометрі використовується амплітуда коливань алюмінієвої стрічки, яка коливається періодичним молекулярним променем. Амплітуда цих коливань пропорційна вимірюваному тиску [46].
Візкозиметричними вакуумметрами можна виміряти тиск в діапазоні від 10-5 до декількох атмосфер.
Основним недоліком манометрів з кварцовою ниткою є їхня чутливість до вібрації.
Зважаючи на це та ще ряд недоліків, що притаманні в’язкісним манометрам, дані ЗВТ широкого поширення не отримали.