• Гідрологія і Гідрометрія
• Господарське право
• Економіка будівництва
• Економіка природокористування
• Економічна теорія
• Земельне право
• Історія України
• Кримінально виконавче право
• Медична радіологія
• Методи аналізу
• Міжнародне приватне право
• Міжнародний маркетинг
• Основи екології
• Предмет Політологія
• Соціальне страхування
• Технічні засоби організації дорожнього руху
• Товарознавство продовольчих товарів

Дифузанти.

Дифузанти бувають газоподібні, рідкі, тверді. Акцепторні домішки: бор, галлій, індій (B, Ga, In) - p-типу. Донорні домішки: фосфор, миш`як, сурма (P, As, Sb) - n-типу.

Найбільш розповсюдженим джерелом P з твердого дифузанту є P2O5 (пентаоксид фосфору). Між Si і P2O5 відбувається хімічна реакція:

P2O5+Si=SiO2+P, що утворить склоподібне покриття пластина, з якої відбувається дифузія. "Загонка домішки" - 1-й етап (=30 - 40 хвил) 2 - 3 мкм, 2-й етап - "розгін" - перерозподіл домішки (t=800 - 10000 С, супроводжується вирощуванням SiO2). Приблизно 1.5 години. Рідке джерело P є POCl3 (оксихлорид фосфору) - Механізм дифузії аналогічний,тобто рідкі джерела реагують з О2, відтворюючи P2O5 (POCl3+O2=P2O5+Cl2). Газоподібним джерелом Р є фосфін PH3. PH3+O2=P2O5+H2O P2O5 - на поверхні Si при "загонці". Джерела Бора (В): твердий - В2О3 - борний ангідрид, рідкий - ВВr3 - трьохбромистий бор, BBr3+O2=B2O3+Br3 B2O3+Si=SiO2+B. Газоподібний - BCl3. Або: діборан B2H6: B2H6+O2=B2O3+H2O. Глибина дифузії - 4 мкм.. 100 мкм. Недоліки: висока температура процесу призводить до перерозподіл домішки в областях ,що сформувалися раніше і зміщенню p-n-переходів, що ускладнює відтворювання окремих елементів.

12.5 Елементи напівпровідникових ІМС.

Дифузійні транзистори ІМС діляться на планарні, планарно-епитаксиальні і мезатранзистори. Планарний транзистор (plane - площина) - відрізняється тим, що всі шари, що відповідають емітеру, базі і колектору, виходять на одну поверхню.

Послідовність виготовлення планарного NPN транзистора.

 Оксидування поверхні заготівлі (Si p-типу).

 Фотолітографія (розкриття вікон в оксиді).

 Дифузія домішок n-типу і повторне оксидування.

 Фотолітографія.

 Дифузія домішок p-типу і повторне оксидування.

 Фотолітографія.

 Дифузія домішок n-типу і повторне оксидування.

 Фотолітографія і формування виводів - напиленням плівки алюмінію (Al має добру адгезію з Si і SiO2). Після металізації (0.1 - 1 мкм) видаляється зайвий метал (травленням) і одержується необхідна форма контактних площадок. (Застосовується і напилення через маску).

Недолік - Iк переборює довгу дільницю дна колекторної області (під дном бази), що має малі поперечні розміри. В дифузійному колекторі концентрація домішок розподілена нерівномірно: вона max на поверхні і min на дні колектора. Тому шар колектора під базою має високий опір, що збільшує напругу насичення і час переключення транзистора.

12.6 Епітаксія.

Епітаксія - це процес осадження атомарного Si на монокристалічну Si пластину, при якому одержують плівку, що є продовженням структури пластини. Практичне значення має випадок, коли легована епітаксіальна плівка вирощується на легованій пластині. При застосуванні в пластині і в плівці що вирощується на межі їхнього розділу утвориться p-n-перехід. На відзнаку від дифузії, при якій p-n-перехід утвориться в результаті перекомпенсації впливу вхідної домішки і утворення області з більш високою концентрацією домішки, епітаксія дасть можливість одержувати шари в широкому діапазоні питомих опорів, не що залежать від опору вхідної пластини.

Відомі три групи процесів епітаксії:

 1. Автоепітаксія - це процес орієнтованого наростання кристалічної речовини, однотипної по структурі з підложкою, що відрізняється від неї тільки вмістом легованих домішок (Si на Si).

 2. Гетероепітаксія - це процес що орієнтованого наростання речовини, що відрізняється по складу від речовини підложки, що відбувається при їхній кристалохімічній взаємодії (наприклад, на сапфірі).

 3. Хемоепітаксія - це процес орієнтованого наростання речовини, в результаті якого утворення нової фази відбувається при хімічній взаємодії речовини підложки з речовиною, що надходить з зовнішньої середи. Отриманий хемоепітаскіальний шар відрізняється по складу як від речовини підложки, так і від речовини, що надходить на її поверхню.

Існує три основні технологічні способи епітаксії:

 1. Молекулярно-променева епітаксія з молекулярних пучків в вакуумі.

 2. Газофазна епітаксія за допомогою хімічної взаємодії речовини в газовій або парогазовій суміші, що називається газовою або хімічною епітаксією.

 3. Рідкофазна епітаксія в рідкій фазі шляхом рекристалізації з розплаву або розчину-розплаву.

 1. Епітаксія з молекулярних пучків в вакуумі є процесом прямого переносу речовини. Речовина-джерело в високому вакуумі під впливом електронного пучка або за допомогою розігріву випаровується, створюючи потік молекулярних часток, що досягають підложки без проміжних взаємодій.

 2. При кристалізації з газової фази за допомогою хімічної взаємодії атоми напівпровідника переносяться в склад хімічного сполучення, що дисоціює на підложці, визволяючи атоми напівпровідника або його молекули.

 3. Рідкофазна епітаксія полягає в нарощуванні монокристалічного шару напівпровідника з розплаву або розчину-розплаву, насиченого напівпровідниковим матеріалом. Напівпровідник епітаксіально кристалізується на поверхні підложки, що вантажиться в розплав, при його охолодженні. Як розчинник використовують будь-який метал, що володіє необмеженою розчинністю з напівпровідником в рідкому стані, наприклад, Ga, GaAs, GaP.

Серед найбільш розповсюджених засобів нарощування епітаксіальних шарів Ge і Si основними є відновлення і піролітичний розклад.

При відновленні застосовують тетрахлорид Si (SiCl) або тетрабромід Si (SiBr4).

SiCl4+H2=Si (осадок)+HCl при t=1200 C

SiBr4 + H2 = Si(осадок) + HBr при t = 1050 C

Для піролітичного розкладу застосовують силан SiH4:

SiH4 = Si(осадок) + H2 при t = 1000 C

Процес епітаксіального нарощування при хлоридному засобі складається з наступних операцій:

 1. Завантаження пластин в реактор.

 2. Продувка реактора інертним газом (N2 видаляє повітря).

 3. Нагрівання пластини до 1200 С і подача Н2 і НСl з метою очищення пластин (Н2 видаляє оксидні плівки, HCl - травлення верхнього шару).

 4. Подача SiCl4 для осадження і легирування епітаксіальних шарів.

 5. Припинення подачі SiCl4, продувка воднем.

 6. Виключення нагрівання, продувка воднем і інертним газом.

 7. Розвантаження реактора.

Найбільше розповсюдження отримав хлоридний спосіб епітаксії. Достоїнства - простота і доступність вхідних матеріалів.

SiCl4 + 2H2 = Si + 4HCl при t = 1200 С

Іноді використовують трихлорсилан :

SiHCl3 + H2 = Si + 3HCl

Товщина епітаксіальної плівки - 1 - 25 мкм.

Інший варіант - епітаксіально-планарна структура з прихованим шаром. Тут епітаксіальний колектор легують помірно, а малий опір колектора забезпечують паралельно включеним шаром (n+), що має високу концентрацію домішки.

 а) Вхідна пластина.

• Розкриття вікон під дифузію прихованого шару.
• Дифузія n+-домішки.
• Травлення оксиду.
• Епітаксіальне нарощування n-шару.

 б) Оксидування пластини

• Фотолітографія.
• Розділова дифузія р-домішки на всю глибину епітаксіального шару і повторне оксидування.

 в) Фотолітографія.

• Дифузія домішок p-типу і повторне оксидування.

 г) Фотолітографія.

• Дифузія домішок n+-типу і повторне оксидування.

 д) Фотолітографія і формування виводів - напиленням плівки алюмінію (Al має добру адгезію з Si і SiO2).

• Після металізації (0.1 - 1 мкм) видаляється зайвий метал (травленням) і одержується необхідна форма контактних площадок. (Застосовується і напилення через маску).

Переглядів: 850